什么是Pellicle？ 介绍Pellicle Pellicle是一个英文单词，指的是一种薄膜或薄层。在光学领域，Pellicle是指一种透明的薄膜，用于保护光刻掩模，防止其受到粒子和化学物质的污染。Pellicle是半导体制造过程中的重要组成部分，可以提高芯片的质量和产量。 Pellicle的作用 在半导体制造过程中，Pellicle的主要作用是保护光刻掩模，防止其受到粒子和化学物质的污染。光刻掩模是制造芯片的重要工具，其表面上的微小缺陷和污染物都会对芯片的质量和产量产生重大影响。Pelli